ซัพพลายเออร์เป้าหมายการสปัตเตอร์ทังสเตน
ประเภททั่วไปของเป้าโลหะมีดังนี้:
เป้าหมายโลหะทั่วไป: แมกนีเซียม Mg, แมงกานีส Mn, เหล็ก Fe, โคบอลต์ Co, นิกเกิล Ni, ทองแดง Cu, สังกะสี Zn, ตะกั่ว Pd, ดีบุก Sn, อลูมิเนียม Al
เป้าหมายโลหะขนาดเล็ก: อินเดียม เจอร์เมเนียม Ge แกลเลียม Ga แอนติโมนี Sb บิสมัท Bi แคดเมียม Cd
วัสดุเป้าหมายโลหะทนไฟ ไททาเนียม Ti, เซอร์โคเนียม Zr, แฮฟเนียม Hf, วาเนเดียม V, ไนโอเบียม Nb, แทนทาลัม Ta, โครเมียม Cr, โมลิบดีนัม Mo, ทังสเตน W, รีเนียม Re
การผลิตเป้าหมายการสปัตเตอร์ทังสเตน
เป้าหมายโลหะมีค่า: ทองคำ Au, เงิน Ag, แพลเลเดียม Pd, แพลตตินัม Pt, อิริเดียม Ir, รูทีเนียม Ru, โรเดียม Rh, ออสเมียม Os
เป้าหมายกึ่งโลหะ: คาร์บอน C, โบรอน B, เทลลูเรียม Te, ซีลีเนียม Se
โลหะหายากที่ทำหน้าที่เป็นเป้าหมาย ได้แก่ แกโดลิเนียม Gd, ซาแมเรียม Sm, ดิสโพรเซียม Dy, ซีเรียม Ce, อิตเทรียม Y, แลนทานัม La, อิตเทอร์เบียม Yb, เออร์เบียม Er, เทอร์เบียม Tb, โฮลเมียม Ho, ทูเลียม Tm, นีโอดิเมียม Nd, เพรซีโอดิเมียม Pr, ลูทีเทียม Lu, ยูโรเพียม Eu, สแกนเดียม Sc
อะลูมิเนียมสังกะสีออกไซด์เป้าหมายเซรามิก AZO, อินเดียมทินออกไซด์ ITO, สังกะสีออกไซด์ ZnO, อะลูมิเนียมไนไตรด์ AlN, ไททาเนียมไนไตรด์ TiN, โบรอนไนไตรด์ BN, แบเรียมไททาเนต BaTiO3, บิสมัทไททาเนต BiTiO3, ซิลิกอนคาร์ไบด์ SiC, สตรอนเซียมไททาเนต SrTiO3, ไททาเนียมคาร์ไบด์ TiC, ทังสเตนคาร์ไบด์ WC, ลิเธียมไนโอเบต LiNbO3
ข้อเท็จจริงเกี่ยวกับการสปัตเตอร์เป้าหมายทังสเตน
เป้าหมายของโลหะผสม ได้แก่ โลหะผสมทองคำ-ดีบุก AuSn โลหะผสมทองคำ-เจอร์เมเนียม-นิกเกิล AuGeNi โลหะผสมสังกะสี-อะลูมิเนียม ZnAl โลหะผสมอลูมิเนียม-ทองแดง AlCu โลหะผสมโคบอลต์-เหล็ก-โบรอน CoFeB โลหะผสมเหล็ก-แมงกานีส FeMn โลหะผสมอิริเดียม-แมงกานีส IrMn โลหะผสมเซอร์โคเนียม-ไททาเนียม ZrTi โลหะผสมนิกเกิล-โครเมียม NiCr โลหะผสมทองแดงอินเดียมแกลเลียม CuInGa โลหะผสมทองแดงสังกะสีดีบุกกำมะถัน CZTS
