วิธีการเตรียมของผงซิลิคอนโลหะค่อนข้างง่ายและสะดวก อีกทั้งหลักการเตรียมการก็เรียบง่ายและเข้าใจง่ายอีกด้วย คือการกระจายผงซิลิกอนหยาบจำนวนหนึ่ง ส่งเข้าไปในพลาสมาอาร์กด้วยก๊าซเฉื่อย และให้ความร้อนทันที เพื่อให้ผงซิลิกอนหยาบระเหยทันทีที่อุณหภูมิค่อนข้างสูงเป็นไอซิลิคอน ไอซิลิคอนจะเข้าสู่เขตทำความเย็นและควบแน่นจนกลายเป็นผงโลหะซิลิกอนระดับนาโน
วิธีการสะสมไอสารเคมี: ไซเลนจะถูกสลายตัวเป็นซิลิคอนและไฮโดรเจนภายใต้สภาวะการเจือจางของไฮโดรเจนในระดับสูงภายใต้การกระทำของพลังงานภายนอก เช่น ความร้อน ไมโครเวฟ เลเซอร์ และพลาสมา และควบแน่นอย่างรวดเร็วในสภาพแวดล้อมที่เป็นก๊าซเพื่อเตรียมผงนาโนซิลิคอน ;
วิธีการกัดบอล: แรงเสียดทานขนาดใหญ่ที่เกิดจากการหมุนเชิงกลและการทำงานร่วมกันระหว่างอนุภาคถูกใช้เพื่อบดวัสดุซิลิกอนขนาดใหญ่ลงในผงขนาดนาโน ผงซิลิคอนโลหะที่ผลิตโดยวิธีการกัดลูกมีปริมาณเจือจางสูงการกระจายขนาดอนุภาคไม่สามารถควบคุมได้ดีและการโพสต์การประมวลผลค่อนข้างยุ่งยาก
การแสดงผลิตภัณฑ์ซิลิกอนเมทัล
